HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀介紹

2025-03-02 09:38

HORIBA IR-400 系列高級氣體監(jiān)測儀用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測介紹

HORIBA IR-400 系列氣體監(jiān)測儀是一款專為半導(dǎo)體制造過程中的腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測而設(shè)計(jì)的高性能設(shè)備。它通過實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過程中的氣體組成，優(yōu)化清洗過程，減少清洗時(shí)間和氣體消耗，從而提高生產(chǎn)效率并降低成本。

HORIBA IR-400 系列高級氣體監(jiān)測儀用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測核心功能與特點(diǎn)

  • 實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測：IR-400 能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測腔室清洗過程的終點(diǎn)，確保每次清洗都達(dá)到預(yù)定的清潔標(biāo)準(zhǔn)。
  • 減少清洗時(shí)間與氣體用量：通過精確控制清洗過程，IR-400 幫助減少必需的清洗時(shí)間及氣體用量，進(jìn)而減少生產(chǎn)成本。
  • 增加腔室組件壽命：減少清洗過程中氣體的使用不僅降低了對腔室的物理和化學(xué)損害，也有效延長了腔室內(nèi)各組件的使用壽命。
  • 多氣體監(jiān)測能力：IR-400 支持多種清洗氣體，如 SiF4 和 CF4，增強(qiáng)了設(shè)備的適用性與靈活性。
  • 氣室加熱功能：具備最高可達(dá) 180°C 的氣室加熱功能，保證在各種工作溫度下的穩(wěn)定性和效率。
  • 高靈敏度監(jiān)測：高靈敏度的檢測系統(tǒng)確保監(jiān)測結(jié)果的準(zhǔn)確性，對氣體濃度變化反應(yīng)迅速。
  • 通信接口豐富：提供模擬和數(shù)字通信選項(xiàng)，便于集成到現(xiàn)有的工控系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的即時(shí)傳輸和分析。

HORIBA IR-400 系列高級氣體監(jiān)測儀用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測適用范圍

HORIBA IR-400 系列非常適合在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中使用，尤其適用于需要高精度和高效率腔室清洗的場合。通過這種先進(jìn)的氣體監(jiān)測技術(shù)，可以大幅提高生產(chǎn)效率，降低運(yùn)行成本，是半導(dǎo)體制造行業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。

總體而言，HORIBA IR-400 系列的推出，為半導(dǎo)體制造業(yè)提供了一個(gè)可靠、高效且成本效益顯著的解決方案，以應(yīng)對日益嚴(yán)峻的市場競爭和生產(chǎn)效率要求。