日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 詳情介紹
SEC-N100質量流量控制器產品概述
HORIBA SEC-N100質量流量控制器專為非芯片半導體制程設計,以滿足該行業(yè)逐步統(tǒng)一的制造標準。該系列產品憑借高度的適應性,能夠滿足多種制程規(guī)范的需求,提供精確的流量控制和高速響應性,是多種高端制造過程中的優(yōu)選設備。
SEC-N100質量流量控制器通信與控制接口
SEC-N100系列支持多樣的通訊模式,包括數字式和模擬式,及高級網絡通信協(xié)議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統(tǒng)兼容,并提供靈活的配置選項。
SEC-N100質量流量控制器應用領域
- 光伏制造:過程控制與現(xiàn)場測量
- 功能玻璃干法鍍膜:等離子體發(fā)射控制與過程氣體監(jiān)測
- 藥品制造:冷凍干燥設備的真空監(jiān)測與控制
- 環(huán)境監(jiān)測:對PM2.5的精確測量
- 光纖生產:流程氣體質量流量控制
- 實驗室研究與測試:實驗室用氣體質量流量控制
SEC-N100質量流量控制器產品特性
- 多模式通信兼容性:包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬(電流/電壓)接口,確保與其他系統(tǒng)的無縫整合。
- 可調節(jié)氣體和量程:用戶可便捷地根據需求更改氣體類型和流量范圍,提高設備的適用性和靈活性。
- 高精度流量控制:精度達到±1.0%的設定流量,采用與SEC-Z500系列相同的高級sensor和bypass技術,確保流量控制的準確性。
- 快速響應時間:響應時間不超過1秒,在可控流量范圍內提供快速調節(jié),內置PID參數可用于優(yōu)化響應時間。
- 閥門選項:提供電磁閥(至50SLM)和壓電陶瓷閥(100/200SLM)選擇,適用于不同的流量需求。
- 材質與設計:提供橡膠或金屬密封圈,未經拋光處理的氣路表面,以及僅VCR接口的設計,滿足RoHS環(huán)保要求。